Фізика та електрична діагностика наноелектронних структур і приладів на основі систем кремній-на-ізоляторі
Автори: Руденко Т.О., Назаров О.М., Лисенко В.С.
Анотація: Монографію присвячено фізиці та електричній діагностиці наноелектронних структур і приладів на основі систем кремній-на-ізоляторі (КНІ). Розглянуто принципові переваги КНІ-приладів порівняно з приладами на об’ємному Sі, а також головні сфери їх застосування. Велику увагу приділено новітнім структурам нанорозмірних польових транзисторів на основі КНІ, а саме: КНІ-транзисторам з ультратонкою кремнієвою плівкою, нанодротовим транзисторам з багатостороннім затвором та безперехідним нанодротовим транзисторам. Розглянуто специфічні електричні властивості цих нанотранзисторних структур, а також методи визначення їх параметрів. Наведено результати досліджень всесвітньо відомих вчених з фізики кремнію-на-ізоляторі, а також авторів монографії, опубліковані в провідних міжнародних журналах і визнаних міжнародною науковою спільнотою. Зазначимо, що досі в Україні не видано жодної монографії, присвяченої фізиці і діагностиці кремнію-на-ізоляторі, хоча на сьогодні кремній-на-ізоляторі визнано найдосконалішою і найперспективнішою технологією створення ключових електронних компонентів та надвеликих інтегральних схем з нанорозмірними елементами, надвисокою швидкодією, низькою напругою живлення та наднизьким енергоспоживанням для сучасних портативних електронних пристроїв.
Читацька аудиторія: Для наукових та інженерно-технічних працівників, що спеціалізуються в галузі напівпровідникової електроніки, а також для викладачів, аспірантів і студентів вишів, які цікавляться сучасним станом мікро- та наноелектроніки.
ISBN 978-966-00-1884-6
Книжковий проєкт: Наукова книга
Відповідальна установа: Ін-т фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Видано: Київ : Наук. думка
Кількість сторінок: 263
Тираж: 50