
Physico-technological aspects of degradation of silicon microwave diodes = (Фізико-технологічні аспекти деградації кремнієвих НВЧ діодів)
Автори: A.E. Belyaev, N.S. Boltovets, E.F. Venger et al.
Редактори: A.E. Belyaev, R.V. Konakova
Анотація: В монографії розглянуті фізичні явища, які відбуваються в перехідному шарі метал–напівпровідник і при пробитті кремнієвих НВЧ діодів, а також методологія теорії катастроф при прогнозуванні відмов кремнієвих діодів і транзисторів. Викладені методи вимірювання параметрів омічних і бар’єрних контактів та механізми деградації кремнієвих НВЧ діодів, пов’язані з фізико-хімічними і структурними властивостями межі поділу метал–напівпровідник, якістю вихідного напівпровідникового матеріалу та досконалістюp-n переходу. Наведені експериментальні дані про методи генерування дефектів у НВЧ діодних структурах, зокрема про низькотемпературні та ненагрівні процеси гетерування, що поліпшують параметри напівпровідникових приладів.
ISBN 978-966-360-176-2
Серія: Українська наукова книга іноземними мовами
Тираж: 300
