Фізика та хімія напівпровідникових адсорбційних сенсорів
Автори: В.Г. Літовченко, А.А. Євтух, Я.І. Лепих, Т.І. Горбанюк
Анотація: У монографії розглянуто фізичні та хімічні процеси, характерні для адсорбційних, каталітичних та п’єзоелектричних ефектів, на яких базується робота напівпровідникових сенсорів газів. Наведено інформацію про основи фізики поверхні та адсорбційних процесів, детально проаналізовано адсорбоелектричний ефект та викладено експериментальні результати дослідження дії газів на шаруваті системи діелектрик-напівпровідник. Особливий акцент зроблено на використання наноструктур та наноструктурованнх матеріалів. Описано квантовий механізм адсорбо-каталітичної активності наноструктурованої поверхні. Наведено результати розроблення мікроелектронних напівпровідникових газових датчиків і проаналізовано створення інтелектуальних систем на їх основі. Значну увагу приділено фізичним та хімічним процесам, а також розробленню акустоелектронних сенсорів газів на поверхневих акустичних хвилях.
Читацька аудиторія: Для науково-технічних співробітників та інженерів з фізики та хімії поверхні, фізики конденсованого стану, газової сенсорики та матеріалознавства, а також для викладачів, студентів та аспірантів вишів відповідних спеціальностей.
ISBN 978-966-00-1791-7
Книжковий проєкт: Наукова книга. Молоді вчені
Відповідальна установа: Ін-т фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Видано: Київ : Наук. думка
Кількість сторінок: 286
Тираж: 100